離子束加工跟等離子體加工的原理有何不同?

離子束加工跟等離子體加工的原理有何不同?使用者2766951934900232020-05-28 19:39:16

1、離子束加工的基本原理

所謂離子束拋光,就是把惰性氣體氬、氮等放在真空瓶中,用高頻電磁振盪或放電 等方法對陰極電流加熱,使之電離成為正離子,再用 5 千至 10 萬伏高電壓對這些正離 子加速,使它們具有一定的能量。利用電子透鏡聚焦,將它們聚焦成一細束,形成高能 量密度離子流, 在計算機的控制下轟擊放在真空室經過精磨的工件表面,從其表面把工 件物質一個原子一個原子地濺射掉。用這種方法對工件表面進行深度從 100 埃到 10 微 米左右的精密加工。

2、等離子體加工的基本原理

等離子體加工又稱為等離子弧加工,是利用電弧放電使氣體電離成過熱的等離子氣 體流束,靠區域性熔化及氣體去除材料的。等離子體又被成為物質的第四種狀態。 等離子體是高溫電離的氣體,它由氣體原子或分子在高溫下獲得能量電離之後,理 解成帶正電荷的離子和帶負電荷的自由電子,整體的正負離子數目和正負電荷仍相等, 因此稱為等離子體,具有極高的能量密度。