LED行業中所說的PSS襯底和PSS工藝是什麼?

LED行業中所說的PSS襯底和PSS工藝是什麼?使用者848450133522019-07-13 22:44:01

LED PSS是“圖案化藍寶石基板”。以蝕刻(在藍寶石C面乾式蝕刻/溼式蝕刻)的方式,在藍寶石基板上設計製作出微米級或奈米級的具有微結構特定規則的圖案,藉以控制LED之輸出光形式(藍寶石基板上的凹凸圖案會產生光散射或折射的效果增加光的取出率),同時GaN薄膜成長於圖案化藍寶石基板上會產生橫向磊晶的效果,減少生長在藍寶石基板上GaN之間的差排缺陷,改善磊晶質量,並提升LED內部量子效率、增加光萃取效率。與成長於一般藍寶石基板的LED相比,亮度增加了70%以上。目前臺灣生產圖案化藍寶石有中美矽晶、合晶、兆晶,兆達。藍寶石基板中2/4英寸是成熟產品,價格逐漸穩定,而大尺寸(如6/8英寸)的普通藍寶石基板與2英寸圖案化藍寶石基板處於成長期,價格也較高,其生產商也是主推大尺寸與圖案化藍寶石基板,同時也積極增加產能。目前大陸還沒有廠家能生產出圖案化藍寶石基板。